Зеленоградский НИИМЭ будет производить фоторезисты для электронной промышленности

Светочувствительные фоторезисты наносят на кремниевую пластину в ходе процесса фотолитографии. С помощью этого материала на поверхности обрабатываемой детали формируются выделенные участки – «окна» – для дальнейшего травления или легирования поверхности. Это основная технология в производстве интегральных микросхем.

Производство отечественных фоторезистов станет важным шагом на пути достижения технологического суверенитета нашей страны, считает генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дёгтев.